金融界2024年3月15日消息,据国家知识产权局公告,三星电子株式会社申请一项名为“芯片拾取头以及使用该拾取头的芯片分离设备和方法“,公开号CN117712009A,申请日期为2023年7月。
专利摘要显示,公开了芯片拾取头以及使用该拾取头的芯片分离设备和方法。所述芯片拾取头包括:夹头,与切割晶圆的芯片的上表面接触。所述芯片拾取头从粘合膜分离和拾取芯片。所述芯片拾取头还包括:头部,结合到夹头;振动传递杆,结合到头部并且被配置为将振动传递到头部和夹头;以及振动生成器,结合到振动传递杆并且被配置为生成振动。
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