液体中粒子的污染对产品质量有着显著的影响,此外,在人们的消费生活中悬浮于液体的粒子特性对人类也有影响,所以在各个领域对于液体中粒子的控制也变得尤为重要。

亿天净化代理的RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂(比如碱,有机溶剂和氢氟酸)。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试。


▲在线测试


▲离线测试

在半导体、硬盘驱动器和平板显示器的生产过程中纯水和化学液被大量使用。为实现电子设备的微型化及大规模集成电路质量与产量上的改进,对于液体中粒子的控制变得尤为必要。

在半导体生产线和场所内粒径要求被降到小于0.1μm,然而在硬盘驱动器生产中对于磁头清洗的粒径要求为0.01μm。由于在平板显示器生产中对大屏幕和高质量电视机和监视器的要求,在1到2平方米的玻璃基板上是不允许出现点缺陷的。所以为了在微细加工技术和高性能电子设备的生产中确保改良效果,对于周边粒子的控制是很重要的。亿天净化液体粒子计数器扮演了监测型定性设备的重要角色。

使用亿天净化液体粒子计数器能有效实施粒子检测,阐明各种要素及吞吐量和产量等等之间的关系,还能有效解决问题区域。把粒子计数器直接连接在清洗槽的供应线及实施不停监测的再循环线上能确定出粒子的波动,还能科学的改进生产线。

KS-42A/AF


光学系统:散射光学系统

镭射光源:半导体镭射二极管,強度:200mW波长:830nm

镭射光源等级:Class1,IEC60825-1(2001)

接收器:光检知器

流速:10ml/min

侦测粒径:0.1um~0.5um(可选10ch)(可改装至1.0um)

校正方式:使用乳胶聚苯乙烯标准粒子(PSL)particles

最高浓度:1,200pcs/ml(误差±5%)

可承受压力:300kPa

漏液警报:连接Relay

尺寸:125(H)*240(W)*251(D)mm(不包含外部连接之配件)

重量:约4kg

KS-42B/BF


光学系统:散射光学系统

镭射光源:半导体镭射二极管,強度:40mW波长:780nm

镭射光源等级:Class1,IEC60825-1(2001)

接收器:光检知器

流速:10ml/min

侦测粒径:0.2um~2.0um(可选10ch)

校正方式:使用乳胶聚苯乙烯标准粒子(PSL)particles

最高浓度:1,200pcs/ml(误差±5%)

可承受压力:300kPa

漏液警报:连接Relay尺寸:125(H)*240(W)*151(D)mm(不包含外部连接之配件)

重量:约3.2kg

KS-42C


光学系统:散射光学系统

镭射光源:半导体镭射二极管,強度:5mW波长:780nm

镭射光源等级:Class1,IEC60825-1(2001)

接收器:光检知器

流速:10ml/min

侦测粒径:0.5um~20um(可选10ch)

校正方式:使用乳胶聚苯乙烯标准粒子(PSL)particles

最高浓度:1,200pcs/ml(误差±5%)

可承受压力:300kPa

漏液警报:连接Relay尺寸:125(H)*240(W)*151(D)mm(不包含外部连接之配件)

重量:约3kg

KS-19F


光学系统:散射光学系统

镭射光源:固态镭射,強度:800mW波长:532nm

光源等级:Class1,IEC60825-1(2001)

接收器:多通道光检知器

流速:10ml/min

侦测粒径:0.03um~0.13um(可选10ch)

校正方式:使用乳胶聚苯乙烯标准粒子(PSL)particles

建议浓度:40,000pcs/ml(误差±10%);

可承受压力:300kPa

漏液警报:连接Relay

尺寸:170(H)*487(W)*310(D)mm(不包含外部连接之配件)

重量:约13.5kg

KS-20F


光学系统:散射光学系统

镭射光源:固态镭射,強度:1.5W波长:532nm

光源等级:Class1,IEC60825-1(2001)

接收器:多通道光检知器

流速:10ml/min

侦测粒径:0.02um~0.08um(可选7ch)

建议浓度:50,000pcs/ml(误差10%以内)

可承受压力:300kPa

漏液警报:连接Relay

尺寸:230(H)*550(W)*330(D)mm(不包含外部连接之配件)

重量:约17Kg