参比气体和测量气体经仪器入口（G10E和G20E）进入仪器，同时进入气体分配部件（GV），并由气体分配器内的过滤片（F10和F20）进行保护性过滤，极少一部分气体经由毛细管进入测量池（MK），大部分气体则从仪器的出口（G10A）排出机外，这样可使进入测量池的参比气体和测量气体的压力、流量保持稳定与平衡。参比气体和测量气体相对进入测量池（MK）的磁隙中，经由底部的中间出口进入泵抽吸的缓冲器（DS）中。磁隙位于磁铁线圈的中间，当磁铁线圈通以频率12.5Hz的电流时，便在磁隙的周围产生磁场，当两种气体通过磁场时，由于氧的顺磁性原理而使气体中的氧分压力发生变化，而且压力的变化与气体中的氧浓度成严格的线性关系。

当测量气体和参比气体浓度相同时，这两种气体间就无压差存在，此时为仪器的零点——即参考点，参考点随参比气体的含氧量的变化而变化，这在参比气的一般选择中再详细说明。

一般情况下，参比气体用氮气，此时的参考点即在仪器刻度的始值位置。当测量气体和参比气体中的氧浓度不同时，这两种气体之间就产生一压差，此压差传递至钛膜的两侧，使薄膜电容器中的膜片产生偏移，引起薄膜电容器的电容量产生变化，从而将压差信号的变化转换成与压差成比例的电信号变化。此信号经电气单元和控制单元的放大、整流等各种处理，仪器就能输出一个与被测气体浓度变化相对应的信号，供显示或控制。