MFC可在高达150°C的温度下运行，以支持关键工艺的前提，如选择性ALD

BrooksInstrument发布了新的GF120xHT系列高温热质量流量控制器。这是该公司GF系列中的第一个高温质量流量控制器，专门设计用于支持半导体制造所需的前体，包括化合物半导体的液体前体。

GF120xHT系列MFC流量模块可在45°C至150°C之间运行。相比之下，传统的热MFC只能在50°C以下运行。布鲁克斯说，通过提供比传统热MFC更大的工作范围，新系列可以准确地将蒸汽输送到处理室，即使在室温下这种材料是液体或固体。

布鲁克斯仪器的母公司ITW的半导体平台首席技术官MohamedSaleem表示：“我们的高温GF120xHTMFC将通过为关键工艺（如选择性原子层沉积（ALD））提供前驱体来解决客户的痛点。”。“GF120xHT将可靠、准确、无颗粒污染地输送这些关键前体。”

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